德國 米銥 Micro-Epsilon 干涉儀

德國 米銥 Micro-Epsilon 干涉儀 型號 IMS5600-DS19/MP

Micro-Epsilon產(chǎn)品范圍包括用于測量距離和位移的傳感器、用于紅外溫度測量和顏色檢測的傳感器，以及用于尺寸測量和缺陷檢測的系統(tǒng)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于光電傳感領(lǐng)域，工業(yè)自動化領(lǐng)域，半導(dǎo)體領(lǐng)域等。

北京漢達森機械技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事歐洲工業(yè)產(chǎn)品進口貿(mào)易的公司。主要產(chǎn)品有工業(yè)自動化設(shè)備、機電設(shè)備、液壓設(shè)備、電氣設(shè)備和零部件等產(chǎn)品。公司總部于2007年在德國成立。公司自成立以來，一直以德國公司的身份為國內(nèi)一些貿(mào)易商，設(shè)備商及終端客戶提供產(chǎn)品代購服務(wù)。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號：IMS5600-DS19/MP

距離測量范圍：-

厚度測量范圍：0.010…1.3mm

測量范圍開始：大約19毫米

分辨率：<30pm

測量速率：從100Hz到6kHz連續(xù)可調(diào)

線性：第一個距離<±10nm，以后每個距離<±100nm

傳感器溫度穩(wěn)定性：線性度：典型值。0.1nm/K（無偏移位移）

控制器溫度穩(wěn)定性：溫度補償，穩(wěn)定性<10ppm在+15...+35°C之間

多層測量：upto13layers

光源：NIR-SLED，波長840nm，Pilot激光器：激光LED，波長635nm

激光類：1級，符合DINEN60825-1:2015-070引導(dǎo)激光：1級，功率(<0.2mW)

光斑直徑：10微米

測量角度：±2°

目標材料：玻璃、反射或漫射表面5)

電源電壓：24VDC±15%

能量消耗：大約10瓦（24伏）

信號輸入：同步輸入、觸發(fā)輸入、2個編碼器（A+、A-、B+、B-、索引）

數(shù)字接口：以太網(wǎng)/EtherCAT/RS422/PROFINET6)/EtherNet/IP6)

模擬輸出：4...20mA/0...10V（16位D/A轉(zhuǎn)換器）

開關(guān)量輸出：錯誤1輸出、錯誤2輸出

數(shù)字輸出：同步輸出

光纖連接：通過E2000插座（控制器）和FC插座（真空饋通）可插拔光纖；通過FC插座（真空饋通和傳感器）的可插拔特高壓光纖；，標準長度3m、5m和10m；可根據(jù)要求提供其他電纜長度；彎曲半徑：靜態(tài)30mm，動態(tài)40mm

電氣連接：3針電源接線板；，編碼器連接（15針，HD-sub插座，最大電纜長度3m，帶外部編碼器電源時30m）；RS422連接插座（9針，Sub-D，最大電纜長度30m）；，3針輸出端子排（最大電纜長度30m）；11針I/O端子排（最大電纜長度30m）；用于以太網(wǎng)（輸出）/EtherCAT（輸入/輸出）的RJ45插座（最大電纜長度100m）

傳感器安裝：夾緊，安裝適配器（見附件）

控制器安裝：獨立式，DIN導(dǎo)軌安裝

儲存溫度范圍：-20...+70°C

工作溫度范圍：傳感器：+5…+70°C；，控制器：+15…+35°C

沖擊(DINEN60068-2-27)：XY軸15g/6ms，每個1000次沖擊

振動(DINEN60068-2-6)：XY軸2g/20…500Hz，每個10個周期

傳感器防護等級(DINEN60529)：IP65，IP40（可選/VAC）

控制器防護等級(DINEN60529)：IP40

真空：可選的UHV（電纜和傳感器）

傳感器材料：不銹鋼

控制器材料：鋁制外殼，被動冷卻

控制和指示元件：多功能按鈕：兩種可調(diào)功能，10秒后恢復(fù)出廠設(shè)置；，Web界面設(shè)置：可選預(yù)設(shè)，自由選擇平均，數(shù)據(jù)縮減，設(shè)置管理；6x彩色LED，用于強度、范圍、SLED、引導(dǎo)激光、狀態(tài)和功率；，引導(dǎo)激光：可打開以進行傳感器對準

德國 米銥 Micro-Epsilon 干涉儀 型號 IMS5600-DS19/MP